產(chǎn)品分類
更新時間：2025-11-08 
瀏覽次數(shù)：206油潤滑型TG系列
使用油潤滑滾珠軸承?；瘜W用途型號有 200 L/s 至 5500 L/s 的每個級別，用于排放腐蝕性氣體的應用。
油潤滑球軸承型渦輪分子泵的截面
產(chǎn)品陣容
TG203型
■腐蝕性氣體的耐腐蝕型。
■經(jīng)久耐用的結構，適合涌入空氣。
■堅固，耐外部沖擊。
■串行通信
※RS232C串行接口
■符合安全標準
NRTL/SEMI-S2/CE
應用
■半導體生產(chǎn)
■電子槍排氣、電離源排氣
■FPD制造
■表面處理、表面改性
■各種電子元件的制造
■燈具生產(chǎn)、光學元件生產(chǎn)
■加速裝置、輻射設施、核聚變研究
■熱處理
■研究與開發(fā)
*TG-F、TG-M、TGkine系列可用于清潔工藝。
| 入口法蘭 | VG100 CF100 ISO-R100 認證 | |
| 體積流量 | N2（長/秒） | 200 |
| N2 （帶防護 屏）（長/秒） | 140 | |
| H2（長/秒） | 150 | |
| 最大壓縮 比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×103 | |
| 基礎壓力 | VG?ISO-B / CF（Pa） | <1×10-6 < 1×10-7 |
| VG?ISO-B/ CF（托） | <7.5×10-9 < 7.5×10-10 | |
| 最大吞吐量※1 | N2 （sccm） | 543 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 4-6 |
| 關機時間 | （分鐘） | 4-6 |
| 最大背壓 | （PA / 托爾） | 550/4.1 |
| 推薦的前級 真空泵 | （升/分鐘） | 80 |
| 所需潤滑 油量 | （毫升） | 70 |
| 位置 | 垂直（±10°C） | |
| 重量 | （公斤） | 11 |
| 主計長 | TC203型 | |
*1 ： 使用160L/min的前級真空泵時。
[使用環(huán)境溫度]
確保您達到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水最高溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。
[對應氣體]
某些類型的要排出的氣體可能會損壞泵。請聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。
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