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更新時間：2025-12-27 
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日本osakavacuum大阪真空 干式真空泵DSP251
DSP系列：緊湊型干式螺桿泵
DSP系列是一款緊湊、輕便且便攜的風(fēng)冷干式真空泵，具備節(jié)能、低振動和低噪音能力。除了電力外，它不需要其他公共設(shè)施。助推級在內(nèi)部時，基壓為0.5 Pa。
■ 清潔吸塵器
沒有油流回流到腔室。
■ 免維護(hù)
沒有定時齒輪意味著不需要維護(hù)潤滑油。
無需更換芯片密封或換油，無需維護(hù)。
■ 緊湊型
體積小巧，輕便攜帶。
■ 風(fēng)冷式
除了電之外，不需要其他水電。
■ 高速泵送
旁通管線在接近大氣壓范圍內(nèi)提供高速泵送。
■ 節(jié)能
低功耗設(shè)計。
- SEM- 分析儀器
- 醫(yī)療器械
- 加速器
- 負(fù)載鎖/轉(zhuǎn)移室
氣體排出 - 離子源
- 光刻
- 電子電子槍
- 通用工業(yè)
- PVD
- 研發(fā)
Model | DSP 251 | DSP 501 | |||
Performance | Pumping Speed | w/o Gas Ballast | L/min | 230 | 500 |
w Gas Ballast | L/min | 200 | 430 | ||
Base Pressure | w/o Gas Ballast | Pa | 0.5 | ||
w Gas Ballast | Pa | 2 | |||
Port Dimension | Inlet | - | KF25 | KF40 | |
Outlet | - | KF25 | |||
Approx. Weight | kg | 16 | 21 | ||
Utility | Power Input | Phase | Single Phase | ||
Voltage | V | AC100-230 ±10%(50/60Hz) | |||
Power Capacity | VA | 450 | 660 | ||
Connector | - | Made by Hirakawa Hutec CM11 | |||
Power consumption | At Base Pressure | W | 240 | 270 | |
Maximum | 380 | 600 | |||
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